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E-Chuck

수십 년 동안 Advanced Energy의 Trek E-Chuck supply는 반도체 산업에서 필수적인 역할을 해왔습니다. Trek Supply를 사용하면 처리량을 향상시키고 가동 시간을 늘리며 웨이퍼 점착 및 웨이퍼 포핑(popping)과 같은 문제를 가상으로 해결할 수 있고 후면 가스 에러도 줄일 수 있습니다.

E-Chuck

Bipolar

  • Control parameters such as over-current, wafer-present, and wafer-clamped thresholds, clamp voltage, offset voltage and internal or external amplitude/offset control
  • Increases efficiency and throughput with custom clamp and declamp sequences and wave shapes
  • Eliminates sticky/popping wafer issues

Dual Polarity C Series

  • Fast-rise charging power delivered from an optimized design
  • Limited overshoot, typically less than 1% of high voltage setpoint, depending on the application
  • Fully-integrated dual output package

기술 문서

제목 유형
Derating of Aluminum Electrolytic Capacitors in High Voltage Power Supplies Application Note (202 KB) 애플리케이션 노트
Electrical Termination and Mounting Configurations of High Voltage Power Supplies Application Notes (307 KB) 애플리케이션 노트
Electrostatic Semiconductor Wafer Clamping/Chucking System (ESC) Application Note (607 KB) 애플리케이션 노트
Performing Isolation Tests on High Voltage Power Supplies Application Note (426 KB) 애플리케이션 노트
Protection of High Voltage Power Supplies in Single and Multiple Applications Application Note (399 KB) 애플리케이션 노트
Remote Control of High Voltage Power Supplies Application Note (686 KB) 애플리케이션 노트
UltraVolt HVPS Polarity Reversing Configurations Application Note (325 KB) 애플리케이션 노트
HVPS Overview Brochure (735 KB) 브로셔
Trek 645 Data Sheet (111 KB) 데이터 시트
Trek 646 Data Sheet (116 KB) 데이터 시트
UltraVolt Dual Polarity C Series Data Sheet (1 MB) 데이터 시트

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